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王陽元

發佈時間:2019-05-20

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王陽元(1935~),浙江寧波人,微納電子科學家、教育家。1995年當選中國科學院院士。現任博狗体育在线教授、微納電子學研究院首席科學家、IEEE Fellow、IEE Fellow、工業與信息化部電子科學技術委員會常委,國家集成電路產業發展諮詢委員會副主任。創立並領導建設博狗体育在线微電子學科,成爲國內外著名的科研與人才培養基地。

成功主持研究硅柵N溝道技術和我國第一塊1024位MOS DRAM(MOS: 金屬氧化物半導體 Metal Oxide Semiconductor; DRAM: 動態隨機存取存儲器 Dynamic Random Access Memory),爲發展MOS集成電路技術作出了重大貢獻。在國際上提出了多晶硅薄膜氧化動力學新模型和應用方程以及與同事合作在國際上提出MOS絕緣層中可動離子和電荷陷阱新的測量方法。率先開發成功多晶硅發射極超高速集成電路技術,爲發展我國雙極集成電路技術作出重要貢獻。創建了SOI(絕緣襯底上的硅 Silicon-On-Insulator)新器件研究室等機構,主持建設了我國第一個國家級微米/納米加工技術重點實驗室。在SOI新器件與電路和MEMS系統(MEMS: 微機電系統 Micro-Electro-Mechanical System)等領域均有重大建樹。

在任全國ICCAD(集成電路計算機輔助設計 Integrated Circuit Computer Aided Design)專家委員會主任和全國集成電路產品開發專家委員會主任期間,領導研製成功了我國第一個大型集成化的ICCAD系統和300多種集成電路新產品,爲我國集成電路設計業的發展打下了重要技術基礎。他與國際同行創建了中芯國際集成電路製造有限公司,成爲我國集成電路產業發展中新的里程碑。近年來,致力於綠色微納電子學科的建設,率先開展低功耗和納米級集成電路研究。

50多年來,共發表和合作發表科研論文300餘篇,出版著作9部,取得發明專利授權62項,擁有20項重大科技成果;培養了百餘人碩士、博士研究生和博士後研究人員。獲全國科學大會獎、國家發明二等獎、國家科技進步二等獎等科技獎勵10餘項和博狗体育在线首屆蔡元培獎。